隨著微電子產(chǎn)業(yè)向輕量化、薄型化、小型化、I/O端數(shù)的增加以及功能多樣化的發(fā)展,倒裝芯片封裝技術(shù)應(yīng)運而生,底部填充是其中的核心工藝。
芯片Underfill工藝是在芯片與基板之間的間隙內(nèi)填充膠水,用以保護(hù)及加強錫球或焊腳,常用于Flipchip封裝中。
工藝特點
芯片級底部填充通常采用非接觸式點膠,對散點及膠量要求較高。
芯片級底填工藝要點如下:
1、周邊有較多元件,溢膠寬度需要進(jìn)行嚴(yán)格管控;
2、BGA芯片表面光滑,會對散點要求較高,表面不能有污漬;
3、BGA內(nèi)部錫球非均勻排列,underfill過程中容易行程空腔;
4、機臺底部加熱會影響到膠水粘度,從而影響膠量。
針對芯片級底填工藝,效率及一致性尤為重要。
芯片級底填工藝應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè),設(shè)備的產(chǎn)能及穩(wěn)定性對生產(chǎn)企業(yè)極為重要,特米特自控在半導(dǎo)體行業(yè)積累了有多年的應(yīng)用經(jīng)驗,擁有成熟穩(wěn)定的高速高精度運動平臺 ,可靈活搭配多類型點膠閥,選配傾斜旋轉(zhuǎn)機構(gòu)、三段式傳送軌道、閥體冷卻,滿足不同客戶的需求。